上海溪拓科技
專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備服務(wù)商
服務(wù)熱線：021-60195846
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產(chǎn)品型號(hào)：PS4/PS8
更新時(shí)間：2025-01-16
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：667
021-60195846
產(chǎn)品分類
Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)。27 個(gè)軸中的每個(gè)軸都能以JI高的精度進(jìn)行定位。探針的 Z 驅(qū)動(dòng)向上擺動(dòng) 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。
每個(gè)微型MM4機(jī)械手都配備了用于低電流測量套件。整個(gè)平臺(tái)可通過一個(gè) 6" Load Lock進(jìn)入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。
Prober Shuttle PS8,還配有高級(jí)探測工具套件（可選），可為Probing探測應(yīng)用提供大量附加功能?？捎糜诎雽?dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。
系統(tǒng)特點(diǎn)
所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機(jī)架上
電子設(shè)備機(jī)架位于操作員視線之外
通過 APT UI 控制整個(gè)系統(tǒng)
從法蘭到機(jī)架的整潔電纜管理
針對(duì)電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測
非磁性設(shè)計(jì)
可用于5納米及更高
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